日立高新超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000

日立高新超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000是專門為電子束敏感樣品和需300萬倍穩(wěn)定觀察的半導體器件，高分辨成像所設計。
紫外臭氧清洗機常用于掃描探測顯微鏡的樣品應用，我們的設備能用于清洗原子力顯微鏡探針，掃描探針顯微鏡標準和表面上常規(guī)的油漬層和殘留的無機材料，也能用來改變物體表面的疏水性，有助于部件和表面的化學改性，經過氧化和硬化處理的探針有利于在掃描過程中保持探針的幾何形狀，削尖的探針有利于提高側向分辨率。
    PSD系列產品是數(shù)字控制的臺式清洗設備，可以提供4×4英寸至12×16英寸的清洗尺寸。設備配備一個帶反射罩的高強度UV格柵燈盤, 和可調節(jié)高度的樣品臺，用于優(yōu)化樣品位置和清洗效果。4英寸或者更大尺寸的系統(tǒng)具有進出氣接口。該系統(tǒng)由一個方便的預設置控制器控制，非常容易操作。
? 預設置的數(shù)字控制器
? 方便簡單的兩按鍵操作
? 自動工作：15.30.60.120分鐘
? 工作進程可以在任何時候手工終止
? 系統(tǒng)不能提供加熱盤選項
? 經濟實用的設計使得PSD系列成為的選擇

• 新的電子槍和電子光學設計提高了低加速電壓性能。

• 0.4nm / 30kV（SE）

• 1.2nm / 1kV（SE）

• 0.34nm / 30kV（STEM）

• 用改良的高真空性能和的電子束穩(wěn)定性來實現(xiàn)高效率截面觀察。

• 采用設計的Super E x B能量過濾技術，高效，靈活地收集SE / BSE/ STEM信號。
  

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